Von gewöhnlicher bis hin zu ungewöhnlicher spektroskopischer ellipsometrischer Invertierung zur optischen Charakterisierung dünner Schichten

Die vorliegende Dissertation befasst sich mit spektroskopischer
ellipsometrischer Invertierung zu optischer Charakterisierung dünner
Schichten. Diese Studie wirft einige spezifische Probleme der
konventionellen Praxis sowie allgemeine Fragen betreffend des Antriebs
der Naturwissenschaften auf. Im Mittelpunkt steht die Problematik und
Lösung der mathematischen Vorgänge zum Ziel einer möglichst genauen
Invertierung. Die kaum zu bremsende Steigerung der Leistungsfähigkeit
der modernen Computerprozessoren setzt eine neue Zeitwende in Gang,
indem die vielen Überprüfungen von vorhandenen Algorithmen und die
Bestrebungen nach intelligenteren zeitsparenderen Algorithmen, die zu
einem Zeitalter modisch waren, schnell zu einer Kunst der Vergangenheit
geworden sind. Im Hinblick auf diese Entwicklung wird die alte Tugend
des Fleisses wiederbelebt und eine ungewöhnliche Lösung wird
eingesetzt. Titanoxid- Siliziumoxid-, amorph Kohlennitridwasserstoffund
Fullerene- und Goldschichten werden untersucht.